主要技术指标：

             1. 极限能量分辨率为0.43eV;          2. 分析室真空度优于5×10^-10 mbar;

             3. 能量分析范围为0-5000eV;          4. 通过能范围为1-400eV。

仪器功能：

    （1）固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度约为1-10nm；

　　（2）材料中元素的深度分析，角分辨方式，氩离子与氩团簇离子刻蚀方式；

　　（3）可进行样品的原位处理，如原位加热、冷却、断裂。

仪器附件：离子散射谱（ISS），反射电子能量损失谱（REELS），单色化XPS（Al靶），

         双阳极（Mg/Al靶），氩离子团簇离子枪，加热/冷却台，样品断裂台。

应用领域：

　　XPS是分析研究固体表面元素成份、元素分布、元素价态和化学态等表面化学特性方面的重要仪器，原则上能分析除H、He以外的所有元素，尤其适用于分析材料表面元素的化学价等，检测灵敏度0. 1%～1%原子浓度比。 

    XPS适于分析固体样品，形状不限，粉末样品也可以分析，但以表面光滑的片状为好，如纳米薄膜材料，催化剂，微电子材料，高分子材料，生物材料，金属材料，半导体材料，无机非金属材料等。原则上样品表面应维持欲分析状态。对表面污染的样品可采取适当措施，予以清洁，安装时应使样品与样品托有良好的电接触，具有放射性、挥发性的样品不宜分析。

送样须知：

    1. 材料必须是无放射性、无毒性、无挥发性物质(如单质Na, K, S, P, Zn, Se, As, I, Te, Hg等）；

    2. 材料必须是干燥固体，粉末需干燥，磁性样品（可以测试）请送样时告知；

    3. 粉末测试需要量一般不小于0.2 毫升；固体样品尺寸0.5×1×1cm，尺寸过大请自行加工；

　　4. 校内样品一般不提供数据分析处理，样品数量大于5个需现场自己制样；

　　5. 普通样品测试一般包括一个全谱和五个以内的单元素谱；超过五个元素的按每个元素加收费用；

　　6. 需要表面清洁或刻蚀深度剖析的，测试时间每半个小时按一个样品收费，例如：一个样品刻蚀+扫描时间为2小时，按4个样品收费；

    7. 需要特殊处理的样品，测试时间每半个小时按一个样品收费。